Hutsean estaltzeko makina metalezko film meheak substratu baten gainazalean metatzen dituen gailua da. Bere oinarrizko lan-printzipioa hiru urratsetan banatzen da: garbiketa, lurrunketa eta deposizioa.
1. Garbiketa
Lurrunketa-jarrera egin aurretik, lurruntze-ganbera garbitu behar da. Lurruntze-ganberaren gainazalean oxidoak, koipeak, hautsa eta beste substantzia batzuk egon daitezkeenez, filmaren kalitatean eragina izango dute. Garbiketak metodo kimikoak edo fisikoak erabiltzen ditu normalean.
2. lurrunketa
Nahi den materiala bere urtze-puntutik gora berotzen da, molekula gaseosoak era ditzan. Ondoren, gas-molekulak huts-ganberatik ihes egiten dute lurruntze-ganberara. Prozesu honi lurrunketa deritzo. Tenperaturak, presioak eta lurruntze-abiadurak pelikularen konposizioan, egituran eta propietateetan eragiten dute.
3. Deposizioa
Lurruntze-ganberako materialaren molekula gaseosoak hutseko hodiaren bidez erreakzio-ganbera sartzen dira, material aktiboarekin erreakzionatzen dute eta, ondoren, produktua substratuaren gainazalean jartzen dute. Prozesu honi sedimentazioa deitzen zaio. Tenperaturak, presioak eta jalkitze-tasa ere eragina dute filmaren kalitatean eta errendimenduan.
2. Aplikazioa
Hutsean estaltzeko makinak oso erabiliak dira materialen zientzian, optikan, elektronikan eta beste alor batzuetan.
1. Materialen Zientzia
Hutsean estaltzeko makinek hainbat metal, aleazio, oxido, silikato eta beste material batzuen film meheak presta ditzakete, eta oso erabiliak dira estalduretan, film optikoetan, biltegiratze optikoetan, pantailetan, transistoreetan eta beste esparru batzuetan.
2. Optika
Hutsean estaltzeko makinak erreflektibitate handiko film metalikoak eta aleaziozko filmak presta ditzake eta funtzio bereziak dituzten film optikoak. Film hauek eguzki paneletan, errendimendu handiko mikroskopio elektronikoetan, aerogeletan, UV/IR sentsoreetan, iragazki optikoetan eta beste eremu batzuetan erabil daitezke.
3. Elektronika
Hutsean estaltzeko makinek nanoeskalako material elektronikoak eta gailu mikroelektronikoak presta ditzakete. Film hauek nanotransistoreetan, memoria magnetikoetan, sentsoreetan eta beste eremu batzuetan erabil daitezke.
Laburbilduz, hutsean estaltzeko makinak film meheko hainbat material prestatu ez ezik, funtzio bereziak dituzten film meheak ere prestatu ditzake beharren arabera. Etorkizunean, hutsean estaltzeko teknologia gehiago erabili eta sustatuko da.
Argitalpenaren ordua: 2024-03-12